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手動光刻機(jī)，簡易型手動光刻機(jī)設(shè)備概要/outline本設(shè)備使用目的將基板和光罩對位後將光罩上的圖形轉(zhuǎn)印到基板

vft光纖過真空裝置的光纖直徑有50μm、100μm、200μm、400μm、600μm和1000 μm可選

108auto是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng)，特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。

parcannano單探針電子束光刻系統(tǒng)p-spl，掃描針尖低能電子場發(fā)射的原理、采用壓阻式微納米針尖和多維納米定位與測量技術(shù)、在半導(dǎo)體器件材料表面制造尺寸小于5納米線寬結(jié)構(gòu)的高性能微納加工系統(tǒng)?？稍诖髿猸h(huán)境下，高經(jīng)濟(jì)效益、快速直寫5納米以下結(jié)構(gòu)和制備納米器件。該系統(tǒng)的閉環(huán)回路可實現(xiàn)使用同掃描探針對納米結(jié)構(gòu)的成像、定位、檢測和操縱。

parcannano百及納米工業(yè)型原子力顯微鏡，可集成大尺寸樣品位移臺、全自動光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng)和配套自動控制軟件，可對大尺寸樣品 進(jìn)行全方位的光學(xué)成像定位，根據(jù)光學(xué)成像結(jié)果自動標(biāo)定多個精確測量區(qū)域，并根據(jù)缺陷/待測結(jié)構(gòu)的特點進(jìn)行模式識別，智能選取原子力顯微鏡測量

parcannano 納米精準(zhǔn)定位的單離子注入系統(tǒng) sii,基于新型掃描針尖精準(zhǔn)定位的離子注入系統(tǒng)，實現(xiàn)有效控制注入半導(dǎo)體器件的雜質(zhì)種類、數(shù)量和位置?？捎糜诨陔婋x雜質(zhì)誘導(dǎo)的量子點所構(gòu)建的量子信息域，研制的設(shè)備可用于探索納米結(jié)構(gòu)器件、量子比特系統(tǒng)和量子信息處理器電路的開發(fā)。

德國nanoscrib 雙光子微納3d打印機(jī)quantum x,結(jié)合了灰度光刻機(jī)的卓越性能和納米篩網(wǎng)創(chuàng)的雙光子聚合技術(shù)的精確性和靈活性。該無掩模光刻系統(tǒng)實現(xiàn)了二維和2.5d的衍射和折射顯微光學(xué)的快速制作。