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fiz3d 面型干涉儀 (vict技術 1測量0.6米工件 觸摸屏操作)測量尺寸(圓形-直徑)：102mm；可立式或臥式使用； 測量精度：pv值31.64 nm或1/20λ rms值 6.328 nm或1/100 λ； 硬件可靠性：平均無故障工作時間>1000小時 及 平均連續(xù)無故障工作時間>12小時/天；對準角度允差：± 3°；光瞳調焦范圍：≥±1.5米
更新時間:2025-01-16
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