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Alpha-Step IQ臺階儀

Alpha-Step IQ 是一種的探針接觸式表面輪廓儀,集高測量精度、多功能性和經濟性于一體,是試行生產線及材料分析的理想選擇。在其8 Å(1δ)或0.1%的臺階高度重復性以及亞埃級別的分辨率的下,Alpha-Step IQ能夠為工藝過程的分析和監(jiān)控提供的重復性和性能。該儀器提供了一整套完備的二維表面形貌分析方法,適用于各種表面,包括:半導體硅片、MEMS、微電子陶瓷、SIMS、光學表面和平面顯示。Alpha-Step IQ 另外還提供了豐富的選件,如:更高的垂直測量范圍、用于樣品定位的更大倍率的攝象頭機、集成的數據處理軟件和支持多語言顯示等等,以滿足用戶各種不同的需求。計算機化的系統更提供了聯網和USB通訊的強大功能。Alpha-Step IQ 能幫助您更及時地了解工藝狀況以及提高產量。

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