技術(shù)參數(shù)X 軸 測(cè)量范圍: 100mm 或 200mm 分辨率: 0.05µm 檢測(cè)方法: 線性編碼器 驅(qū)動(dòng)速度: 0 - 80mm/s 測(cè)量速度: 0.02 - 5mm/s 移動(dòng)方向: 向后 直線度: （0.05+1L/1000）µm*（0.5µm/200mm: 測(cè)量范圍為200mm的型號(hào)） 傾角范圍: ±45ºZ2 軸 （立柱） 垂直移動(dòng): 300mm 或 500mm、動(dòng)力驅(qū)動(dòng) 分辨率: 1µm 檢測(cè)方法: ABSOLUTE 線性編碼器 驅(qū)動(dòng)速度: 0 - 20mm/s檢測(cè)器 范圍／分辨率: 800µm / 0.01µm, 80µm / 0.001µm,8µm / 0.0001µm （使用測(cè)頭選件時(shí)，最大可達(dá)2400µm） 檢測(cè)方法: 無(wú)軌／有軌測(cè)量 測(cè)力: 4mN 或 0.75mN （低測(cè)力型） 測(cè)針針尖: 金剛石、90º / 5µmR（60º / 2µmR: 低測(cè)力型） 導(dǎo)頭曲率半徑: 40mm 檢測(cè)方法: 差動(dòng)電感式基座尺寸 （W x H）: 600 x 450mm 或 1000 x 450mm基座材料: 花崗巖尺寸 （W x D x H）: 756 x 482 x 966mm （S4 型）756 x 482 x 1166mm （H4 型）1156 x 482 x 1176mm （W4 型）766 x 482 x 966mm （S8 型）766 x 482 x 1166mm （H8 型）1166 x 482 x 1176mm （W8 型）重量 140kg （S4, S8 型）150kg （H4, H8 型）220kg （W4, W8 型）*L 為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 （mm）評(píng)估能力: SURFPAK-SV評(píng)估輪廓 P （主輪廓）, R （表面粗糙度輪廓）, WC, WCA, WE, WEA, DIN4776 輪廓、包絡(luò)殘余線、粗糙度 motif、波形 motif評(píng)估參數(shù) Ra, Rq, Rz, Ry, Rz（JIS）, Ry（DIN）, Rc, Rp, Rpmax, Rpi, Rv, Rvmax, Rvi, Rt, Rti, R3z, R3zi, R3y, S, Pc （Ppi）, Sm, HSC, mr, δc, plateau ratio, mrd, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, Δa, Δq, λa, λq, Sk, Ku, Lo, Lr, A1, A2 粗糙度 motif 參數(shù): Rx, R, AR, SR, SAR, NR, NCRX, CPM 波形 motif 參數(shù): Wte, Wx, W, AW SW, SAW, NW分析圖表 ADC, BAC1, BAC2、功率譜圖、自相關(guān)圖、Walsh 功率譜圖、Walsh 自相關(guān)圖、 傾斜分布圖、局部峰值分布圖、參數(shù)分布圖濾波類型 2CR-75%, 2CR-50%, 2CR-75% （相位校正）, 2CR-50% （相位校正）, 高斯-50%截止波長(zhǎng)* λc: 0.025mm, 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm fl: 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm fh: 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm取樣長(zhǎng)度 （L）* 0.025mm, 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm取樣長(zhǎng)度 傾斜補(bǔ)償、R 平面 （曲面） 補(bǔ)償、橢圓補(bǔ)償、拋物線補(bǔ)償、 雙曲線補(bǔ)償、二次曲線自動(dòng)補(bǔ)償、 多項(xiàng)式補(bǔ)償、 多項(xiàng)式自動(dòng)補(bǔ)償* 可在0.025mm 至最大移動(dòng)長(zhǎng)度間指定任意長(zhǎng)度。